วัสดุเป้าหมายไทเทเนียม

1. ภาพรวม
วัสดุเป้าหมายหมายถึงวัสดุที่ถูกทิ้งระเบิดโดยอนุภาคพลังงานสูงในระหว่างกระบวนการต่าง ๆ เช่นการสะสมสปัตเตอร์ เป้าหมายสามารถแบ่งออกเป็นประเภทโลหะโลหะผสมหรือออกไซด์ โดยการเปลี่ยนวัสดุเป้าหมาย (เช่นอลูมิเนียม, ทองแดง, สแตนเลส, ไทเทเนียม, นิกเกิล) ระบบฟิล์มบางที่แตกต่างกันสามารถผลิตได้เช่นการเคลือบโลหะผสมที่ทนต่อการสึกหรอ

(1) เป้าหมายโลหะ:
นิกเกิล (Ni), ไทเทเนียม (TI), สังกะสี (Zn), โครเมียม (CR), แมกนีเซียม (มก.), ไนโอเบม (NB), ดีบุก (SN), อลูมิเนียม (AL), อินเดียม (ใน), zirconium-aluminum (zral) (Alsi), ซิลิกอน (Si), ทองแดง (Cu), แทนทาลัม (TA), เจอร์เมเนียม (GE), เงิน (AG), โคบอลต์ (CO), ทองคำ (AU), แกโดลิเนียม (GD), Lanthanum (LA), Yttrium (Y) (HF), โมลิบดีนัม (MO), เหล็ก-นิกเกิล (FENI) ฯลฯ

(2) เป้าหมายเซรามิก:
Ito, แมกนีเซียมออกไซด์, เหล็กออกไซด์, ซิลิกอนไนไตรด์, ซิลิกอนคาร์ไบด์, ไทเทเนียมไนไตรด์, โครเมียมออกไซด์, ซิงค์ออกไซด์, ซิงค์ซัลไฟด์, ซิลิคอนไดออกไซด์, ซิลิก เซอร์โคเนียม diboride, ทังสเตนไตรออกไซด์, อลูมินา (al₂o₃), tantalum pentoxide, niobium pentoxide, แมกนีเซียมฟลูออไรด์, ฟลูออไรด์ yttrium, สังกะสีเซเลเนต วัสดุเป้าหมาย

2. ข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพที่สำคัญสำหรับเป้าหมาย

(1) ความบริสุทธิ์
ความบริสุทธิ์เป็นหนึ่งในตัวชี้วัดประสิทธิภาพที่สำคัญที่สุดเนื่องจากมีผลโดยตรงต่อคุณสมบัติฟิล์มบาง ๆ ตัวอย่างเช่นใน microelectronics ขนาดของเวเฟอร์เพิ่มขึ้นจาก 6 "และ 8" ถึง 12 "ในขณะที่ linewidths หดตัวจาก 0. 5 µm ถึง 0 13 µm หรือเล็กกว่าที่ 99.995% ตอนนี้เส้นต้องการความบริสุทธิ์ 99.999% หรือ 99.9999%

(2) เนื้อหาเจือปน
สิ่งสกปรกที่เป็นของแข็งและก๊าซดูดซับเช่นออกซิเจนและน้ำเป็นแหล่งหลักของการปนเปื้อนในฟิล์มบาง อุตสาหกรรมเฉพาะเช่นเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดเกี่ยวกับโลหะอัลคาไลและองค์ประกอบกัมมันตรังสีในอลูมิเนียมและโลหะผสม

(3) ความหนาแน่น
ความหนาแน่นสูงช่วยลดความพรุนในเป้าหมายซึ่งจะช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของฟิล์มสปัตเตอร์ ความหนาแน่นไม่เพียง แต่ส่งผลกระทบต่ออัตราการสปัตเตอร์เท่านั้น แต่ยังรวมถึงคุณสมบัติทางไฟฟ้าและแสงของฟิล์ม เป้าหมายที่หนาแน่นยิ่งขึ้นยังสามารถทนต่อความร้อนได้ดีขึ้นในระหว่างการสปัตเตอร์

(4) ขนาดและการกระจายของเม็ด
เป้าหมายมักจะมีโครงสร้าง polycrystalline ธัญพืชที่ละเอียดกว่ามีแนวโน้มที่จะปรับปรุงอัตราการสปัตเตอร์ในขณะที่การกระจายขนาดของเม็ดสม่ำเสมอช่วยให้มั่นใจได้ถึงความหนาของฟิล์มในระหว่างการสะสม

3. เกรดวัสดุ
ta {{0}}, ta1, ta2, ta9, ta10, zr2, zr0, gr5, gr2, gr1, tc11, tc6, tc4, tc3, tc2, tc1

4. แอปพลิเคชัน
วัสดุเป้าหมายใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการเคลือบตกแต่งฟิล์มที่ทนต่อการสึกหรอและในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์สำหรับ CD, VCD และการเคลือบดิสก์แม่เหล็ก

ภาพยนตร์ Tungsten-Titanium (W-TI)
W-TI และโลหะผสมของมันคือการเคลือบฟังก์ชั่นที่มีอุณหภูมิสูงพร้อมข้อได้เปรียบที่ไม่สามารถถูกแทนที่ได้ ทังสเตนนำเสนอจุดหลอมเหลวที่สูงความแข็งแรงและค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ฟิล์ม W-TI มีลักษณะเป็นความต้านทานไฟฟ้าต่ำความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมและความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันที่แข็งแกร่ง

โลหะเชื่อมต่อระหว่างกันแบบดั้งเดิมเช่น AL, Cu และ Ag นั้นถูกออกซิไดซ์ได้ง่ายผูกมัดกับชั้นอิเล็กทริกและมีแนวโน้มที่จะแพร่กระจายไปยังสารตั้งต้นเช่น Si และSio₂ พฤติกรรมเหล่านี้ลดประสิทธิภาพของอุปกรณ์ ในทางตรงกันข้ามอัลลอยด์ W-Ti ทำหน้าที่เป็นอุปสรรคในการแพร่กระจายที่ยอดเยี่ยมเนื่องจากคุณสมบัติทางกลร้อนที่มีเสถียรภาพอัตราการเกิดไฟฟ้าต่ำและการกัดกร่อนที่เหนือกว่าและการต้านทานทางเคมีทำให้พวกเขาเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและอุณหภูมิสูง

5. แนวโน้มการพัฒนา
เป้าหมาย W-TI ได้กลายเป็นวัสดุเคลือบผิวที่สำคัญสำหรับเซลล์เซลล์แสงอาทิตย์โดยเฉพาะอย่างยิ่งเป็นอุปสรรคในการแพร่กระจายในเซลล์แสงอาทิตย์รุ่นที่สาม ต้องขอบคุณคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมความต้องการเป้าหมาย W-TI ได้เพิ่มขึ้นในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ในปี 2551 ความต้องการทั่วโลกถึง 400 ตัน เมื่ออุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์เติบโตขึ้นตัวเลขนี้คาดว่าจะเพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญ

ตลาดเซลล์แสงอาทิตย์ระหว่างประเทศกำลังขยายตัวอย่างรวดเร็วโดยมีการเติบโตต่อปี 100% บริษัท หลายแห่งรวมถึง Wverthsurlfulcell ของเยอรมนีซึ่งเป็นพลังงานแสงอาทิตย์ทั่วโลกของสหรัฐอเมริกา Honda Showa Solar Shell ของญี่ปุ่นและ Hitachi Metals-ลงทุนอย่างแข็งขันในภาคนี้

ประเทศจีนได้พัฒนาเป้าหมาย W-TI ที่มีขนาดใหญ่มากความหนาแน่นสูงและมีความบริสุทธิ์สูงซึ่งเป็นวัสดุเคลือบไอออน-สแตปเตอร์ สิ่งเหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายเป็นอุปสรรคหรือเลเยอร์การปรับแต่งสีในจอแสดงผลชั้นตกแต่งในแล็ปท็อปการห่อหุ้มแบตเตอรี่และอุปสรรคการแพร่กระจายของเซลล์แสงอาทิตย์ ศักยภาพเชิงพาณิชย์และเศรษฐกิจของพวกเขามีความสำคัญ นอกจากนี้การผลิตของพวกเขาสามารถผลักดันการอัพเกรดในอุตสาหกรรมทังสเตนของจีนเพิ่มมูลค่าผลิตภัณฑ์และความสามารถในการแข่งขันระดับโลก